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证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现ST华微（600360）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种电极组件及等离子体刻蚀机”，专利请求号为CN2.3，授权日为2025年4月25日。
专利摘要：本请求揭露了一种电极组件及等离子体刻蚀机，触及等离子体电极技能领域，用于处理现存技能中电极本体的边际区域的出气量小于中部区域的出气量，从而对芯片刻蚀不均匀的技能问题。该电极组件包含电极本体，所述电极本体包含中部区域和边际区域；沿垂直于所述电极本体的厚度方向，所述电极本体上开有贯穿所述电极本体的多圈通气孔，所述多圈通气孔沿所述电极本体的径向排布，所述边际区域的通气孔的直径大于所述中部区域的通气孔的直径。本请求经过将电极本体的边际区域的通气孔的直径设置为大于中部区域的通气孔的直径，能大大的提高经过电极本体的气体的均匀性，进而能大大的提高被刻蚀的芯片的均匀性。
今年以来ST华微新取得专利授权14个，较去年同期增加了27.27%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。
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证券之星估值剖析提示*ST华微行业界竞争力的护城河一般，盈余才能平平，营收成长性较差，归纳基本面各维度看，股价偏高。更多
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